通信协议概述——自定义通信协议
通信协议概述——自定义通信协议
本文主要专注于介绍以通信指令为核心的自定义通信方案。针对需要调用厂商动态库或静态库文件并调用相关函数的情况,在本研究中不予涉及。(综上所述,这篇文章具有总结性质……)
除了经标准化的通信协议之外(包括ModBus),还有很多硬件系统采用了定制化的通信协议体系。在从事半导体上位机控制系统工作的近十年中(特别是在自动化设备领域),定制化通信协议的应用比例显著提升(涉及机器人技术、热式和冷式盘表、光心对准技术以及负载口技术等)。
这些通信在说明书中常见且直接地告知开发者需要发出哪些命令(以字符串或十六进制形式)以及接收的内容。为了避免歧义,默认情况下会给出具体示例。本文通过举例来阐述相关概念,并非必须每个情况都详细展开。
光学对中
一般情况下,它大概具有以下几个功能:
- 配置获取晶圆尺寸参数
- 识别确定晶圆类型参数
- 检测当前对中工作状态信息
- 归零设置完成初始化操作
- 定位机制执行精确对准过程
- 执行精确定位至对中位置
- 实现精确转移至存储区域用于后续操作流程
- 解析当前系统错误码数据并生成警报提示信息完成任务流程
设定晶圆尺寸的操作指令如下:
操作指令:SETINCH?+Enter——其中?参数的取值范围为0至5(共六个值),分别对应晶圆尺寸的2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸。
执行方式:在提示符处输入相应的数值(例如输入0时将设置为2英寸)。
状态反馈:按Enter键后若正确设置了所需尺寸则会显示";"符号表示操作成功;若未按Enter键则表示操作失败。
读取晶圆尺寸:
向系统发送"READINCH"指令;
接收系统响应时将包含相关参数;
其中参数以"?"符号标识(数值范围从0至5),分别代表:
2英寸(当?=0)、
3英寸(当?=1)、
4英寸(当?=2)、
6英寸(当?=3)、
8英寸(当?=4)及
12英寸(当?=5)。
机器人
机器人的通信指令比较多,大概有以下基本功能:
- 初始化操作。
- 归零设置。
- 上行与下行控制。
- 暂停执行。
- 恢复运行状态。
- 异常检测并重置系统。
- 执行取晶圆操作。
- 进行放晶圆操作。
- 包括但不限于定位至目标坐标、到达取片点、放置片位点以及Z轴增减等动作)。
- 实现臂部运动控制功能。
- 完成Mapping功能实施过程。
- 设置并保存演示位信息。
- 开启机械手真空系统动作。
- 获取机器人的错误信息记录数据。
- 获取机器人当前运行参数数据信息。
- 实现机器人速度参数的读写管理。
- 实现机器人当前位置参数的读写管理。
类似于对中的方法
取片:
发:
- P-CLICK-UP???+Enter——???分别表示目标位所属的组别、站号以及槽号(具体含义为使用左手取片盒中的晶圆)。
- P-CLICK-UP??+Enter——??分别表示目标位所属的组别及站号(具体含义为使用左手取工艺腔体中的晶圆)。
回:“;"代表成功。不回代表失败。
获取当前位置信息:
操作类型为发送(Send),其具体操作内容为RPOS并按回车键换行。
接收操作中的位置数据包括R1、R2、Z、T四个轴的数据。
此处不再举例说明。本文所述的通信指令并非某家特定厂家提供的精确指令信息,具体含义则有所简化。本篇文章旨在探讨我在实际应用中常遇到的各种自定义通信协议情况,这些协议往往都会直接告知developer发送与接收的内容信息,从而使得developer对协议机制的理解相对较为容易。然而需要注意的是,无论是在自定义还是标准协议中,'组包'和'拆包'等数据分析操作环节都不能掉以轻心,因为无论是哪种情况,保证通讯稳定性和准确性对于 electrical engineer来说都是分内之事,同样也是 software engineer必须重点考虑的因素之一
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