《炬丰科技-半导体工艺》磷酸清洁技术的过程
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书籍：《炬丰科技-半导体工艺》
文章：磷酸清洁技术的过程
编号：JFKJ-21-262
作者：炬丰科技
介绍
磷酸的一般情况
磷酸是一种重要的化工中间体。它主要是用于制造肥料，如表1所示。
工艺路线介绍
磷矿可通过两种工艺途径生产磷酸路线：湿法工艺中，通过强无机酸处理矿石并完成干燥流程；与此同时，在电炉或回转窑中进行后续氧化反应以生成单质磷作为中间产物。
冷冻干燥制程
盐酸酸化
用硝酸酸化
用硝酸进行酸解主要有三个过程
磷矿回收工艺:Odda工艺、DSM硫酸盐回收工艺和 Superfos程序。
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