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芯片ESD试验项目及标准

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HBM**(Human Body Model****)**

标准 :GJB 548 -方法3015 静电放电敏感度的分级

测试目的 :测试微电路受静电放电(ESD)作用造成损伤和退化的敏感度,对微电路进行分级。

HBM器件的失效阈值分级如下:

测试方法 :按人体模型放电试验电路产生的波形进行分级测试。HBM采用引脚组合方式,每2个引脚为一个组合,每次触发一个脉冲,按照试验的管脚组合,分别用三个正脉冲、三个负脉冲进行测试。脉冲之间至少要有1s的延时,一般为3s。

CDM**(Charge Device Model****)**

标准 :JS002-2018

测试目的 :测试给器件充电并迅速放电时对器件造成的损伤评估。

CDM器件的失效阈值分级如下:

测试方法 :CDM先对对整个器件充电(无管脚组合),分直接充电和感应充电,然后通过某一管脚对地放电。

LU**(Latch Up****)**

标准 :SJ20954-2006

测试目的 :测试集成电路IC的电流锁定和过压锁定,适用于NMOS、CMOS、双极以及使用此类工艺的产品。当器件出现锁定时,表明器件电性能失效,与器件特殊结构无关。

测试方法 :按照芯片各个管脚类型及工作电压按照标准做电流及过压触发,由机台自动抓取电源漏电变化,判断是否闩锁。

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